等离子清洗/蚀刻技术是对等离子特殊性能的一种具体应用。等离子清洗/蚀刻机通过在密闭容器中设置两个电极以产生电场并使用真空泵达到一定程度来产生等离子。随着气体越来越稀薄,江苏真空式等离子处理机定制分子和离子的分子间距和自由运动距离越来越长,它们在电场的作用下相互碰撞,形成等离子体。这些离子非常活跃,它