等离子腔体室可配置“6”或“8”电源电极甚至更多，零件喷漆附着力以适应各种晶片尺寸、零件、IC封装及其它元件。高性能等离子体蚀刻用于故障分析或MEM和LED器件制造，真空等离子清洗系统适用于各种工艺气体，包括：Ar，O2，H2/成形气体，He，CF4和
