..氯化硼和氯气等气体。等离子边缘蚀刻可以改善与边缘区域中薄膜沉积相关的许多缺陷问题。当然，氯化橡胶附着力好不好从工艺集成的角度来看，边缘蚀刻的引入对后续工艺的影响应该加以考虑和综合评估。。等离子刻蚀机加工工艺的关键在于两方面的应用。 1.等离子蚀刻机表面处理：通过等离子浸入金属表面的氮、碳、硼、碳
