目前泛林半导体公司高端Kiyo系列配备了这种高偏压脉冲技术(US9059116),附着力促进剂pf5011这种技术和同步脉冲相比,其等离子清洗机等离子体关闭期间粒子能量角分布(IEAD)与同步脉冲类似,因此也可降低电荷积累效果。嵌入式脉冲一般是源功率和偏压功率同时脉冲但偏压功率开启的时间要短于源功率