其工艺包括：将清洗后的样品放入真空室，诺信等离子清洗机真空泵运行真空泵等设备抽空排气至20Pa左右的真空度；然后将用于等离子体清洗的工艺气体引入真空室（根据等离子体处理样品原料的不同和处理意图的不同，选择的工艺气体也不同，通常包括氧气、氢气、氩气、氮气等）；在真空室内通过射频电源在一定压力下产生高能
