第二个腔室引入气体（氩气 + 氧气或氮气 + 氧气）并使用等离子体反应去除腔室中的残留物。每月至少进行一次去角质，塑料电镀 附着力切除时间约为 10 分钟。 3、等离子清洗机应检查塑料管与真空体的密封完整性，自检装置的完整性。彻底清洁反应室后，污染物不应泄漏到腔体中。自检反应室门上的密封条是否松动。
