等离子体的获得方式有很多种,未活化的mof比表面积但根据加入次数的不同可分为直流放电、低频放电、高频放电、微波放电等。在制造低温常压等离子清洗机的早期阶段,对低压常压等离子放电进行了一般性和进一步的讨论。气压低时,绝缘击穿电压比较低,容易稳定放电,即使大面积也能均匀放电,活性粒子浓度高。在空气中,通