其主要过程包括:先将需要清洗的工件送到真空系统固定，增加附着力促进剂936真空泵等设备逐步抽真空排出约10Pa真空度;然后将等离子清洗气体送入真空系统(根据清洗材料的不同，可以选择不同的气体，如氧、氢、氩、氮、等周围的压力并保持Pa;在电极之间的真空系统和接地装置增加高频工作电压,气体被分解,根据电
