1.化学反应等离子清洗等离子体中的高活性自由基和材料表面的有机物质用于进行化学反应，引线框架等离子体去胶机器也称为PE。氧气净化用于将非挥发性有机化合物转化为挥发性形式并产生二氧化碳。一氧化碳和水。化学清洗的优点是清洗速度快。选择性高，对有机污染物净化效果好。主要缺点是产生的氧化物可以在材料表面重新
