主要电气控制部分包括:真空泵、射频功率、真空计,计时器,流量计,绿色电源指示灯,蜂鸣器,功率调节器,空按钮(自锁),一个按钮(自锁)气体,气体的第二个按钮(自锁),高频电源按钮(自锁)、真空泵按钮(自锁),总功率旋钮开关。。等离子体发生器可以使操作人员远离对人体有害的溶剂:真空泵低温等离子体发生器的
