一般的光芒电气清洗是通过将材料置于一些电离的蒸汽中，对abs附着力好的硅烷并用低能离子和电子轰击它来完成的。轰击的能量取决于功率、射频或直流电流的放电特性以及被清洗材料的性质(如绝缘或电导率)。例如，O2放电产生的离子和电子轰击材料的外层，不仅释放杂质，还在外层产生挥发性物质，从而达到清洗的目的。对
