..这些活性粒子可以与表面材料发生反应，表面改性带正电反应过程如下：电离-气体分子-激发-激发态分子-清洗-活化表面等离子体在电极之间形成高频电压（频率约为几十兆赫）和高频交流电场，该区域的气体是交流电场，被激发产生等离子体。活性等离子体对被清洗物表面产生物理冲击和化学反应的双重作用，使被清洗物表面
