由于此类蚀刻一般采用高温激光蚀刻，等离子清洗机=等离子干法刻蚀机图案清晰度准确，但较粗糙，对蚀刻气体的成分和温度特别敏感。考虑实际情况，增加蚀刻后工序进行改进。表面粗糙度。蚀刻线边缘粗糙度有待提高，但接近90°的直角有很大优势。图案可以准确转移，尤其是纵横比超过 20 时。以上是一家等离子干法刻蚀机
