与电离气体和由压缩空气加速的活化气体射流发生化学反应，物质能以等离子态存在的条件是去除污染颗粒，将其转化为气相，并通过连续气流真空泵将其排出。得到的纯度等级更高。当发生氧化铜还原反应时，氧化铜与氢气的混合气体等离子体接触，氧化物发生化学还原反应产生蒸汽。该气体混合物包含AR/H2或N2/H2，且H2
