等离子体密度不高，漆膜附着力影响但具有高强度、高能量、高高度、高功率。大功率可达几十千瓦，理论上甚至上百千瓦，一般用于除渣和蚀刻。真空等离子体设备如果使用中频电源，需要用水冷却，这也是等离子体设备常用的电源。射频等离子设备的温度与平时室内温度相近。当然，如果真空机全天连续使用，还需要增加水冷系统。等
