超声波等离子体产生的反应是物理反应，树脂的亲水性能测试高频等离子体产生的反应既是物理反应又是化学反应，微波等离子体产生的反应是化学反应。高频等离子清洗和微波等离子清洗主要用于现实世界的半导体制造应用，因为超声波等离子清洗对要清洗的表面有很大的影响。低温宽幅等离子垫圈电子点火线圈框架灌封环氧树脂预处理
