单一工艺或几种工艺的组合可以赋予电晕不同的用途。例如，实验室薄膜电晕电晕处理机在电晕中，通过电晕化学合成产生新的化学物质，或通过粒子聚合在表面沉积薄膜。。在半导体器件的制造过程中，晶圆芯片表面会存在各种颗粒、金属离子、有机物质和残留颗粒。为了保证集成电路的集成度和器件性能，需要在不破坏芯片等材料表面
