产生的蚀刻气相等离子体有效地腐蚀微米级的孔,河南等离子除胶渣机品牌并且可以通过工艺参数进行调整。咬。 2. C4F等离子刻蚀机使用注意事项(1) 四氟化碳气体是一种无毒、不易燃的气体,但请注意高浓度可能导致窒息和麻醉。使用时是气路密封。我们建议使用防爆管道。 (2) 需要一个特殊的流量控制器来保证过