最近的研究还提到，高附着力活性剂哪种好等离子清洗会对材料表面造成飞溅损坏。事实上，只要能量控制得当，轻微的表面损伤可以显着提高附着力，成为Ar等离子去除部分表面氧化物等情况下必不可少的工艺。..当然，一些工艺测试表明，通过使用逐步清洁工艺可以最大限度地减少这种损坏。此外，国外正在对等离子清洗残留
