与以往的化学法相比，薄膜清洗机它不仅降低了加工过程的温度，而且将涂胶、显色、腐蚀、去胶等化学湿法改变为等离子干燥，使过程更简单，更容易自动化，提高了成品收率。等离子清洗具有较高的分辨率和保真度，有利于提高集成性和可靠性。利用等离子体膜对沉积膜进行清洗，可以保护电子元件。利用等离子体薄膜清洗沉积的薄膜
