2.低温宽幅等离子清洗机激发频率分类等离子态的密度和激发频率有如下关系：nc=1.2425×108v2其中nc为等离子态密度（cm-3），昆山真空等离子清洗机厂家v为激发频率（Hz）。常用的等离子体激发频率有三种：激发频率为40kHz的等离子体为超声等离子体，13.56MHz的等离子体为
