同样参考了托板架保养2-6步骤。（注意：气管拆卸下来需将两端的口堵上，高附着力机油再进行清洗） 6.气体管道检查 使用气体质量流量控制器对机台气体质量流量控制器进行测量，并参照检测值校正机台气体质量流量控制器。也可参照同腔体真空度检查（参考测试），关闭总阀之后检查显示O2、N2、CF4管道通道压力数
