等离子处理是通过化学或物理作用对工件表面进行处理，附着力超强自喷漆反应气体被电离，产生高反应活性离子，与表面的污染物发生化学反应，从而达到清洁的目的。应根据污染物的化学成分选择反应气体。基于化学反应的等离子清洗速度快、选择性高，对有机污染物有极好的清洗效果。最常用的等离子清洗，其表面反应基于物理作用
