物理清洗：表面反应以物理反应为主的等离子体清洗，山东宽幅等离子清洗机哪家好也叫溅射腐蚀（SPE）。例：Ar＋e-→Ar++2e- Ar++沾污→挥发性沾污Ar+在自偏压或外加偏压作用下被加速产生动能，然后轰击在放在负电极上的被清洗工件表面，一般用于去除氧化物、环氧树脂溢出或是微颗粒污染物，同时进行表
