研究表明，制动时制动力和附着力关系等离子体脉冲蚀刻技术可以充分解决传统连续等离子体蚀刻所面临的许多问题，尤其是在涉及带负电等离子体的蚀刻工艺中。与传统的连续等离子刻蚀相比，等离子清洗器等离子脉冲技术可以获得高选择性、高各向异性和光电荷累积损伤的刻蚀工艺，提高刻蚀速率，对聚合物产生的损伤可以减少，提高
