3.真空及气路：真空系统、外部气体、流量调节、回气及管路对于小型等离子清洗机，大型清洗机由于其射频功率较低，其射频电源和控制组装在一个机箱内，一是减少空间占用，二是便于操作摆放，同时，与大型清洗机相比，检测功能和控制功能的设置尽可能简洁。整体外观处理工艺，架式门板烤漆，经久耐用，防刮伤，铝合金自动门
