腔室（根据清洗剂选择氧气、氢气、氩气、氮气等各种气体），附着力是如何产生的压力保持在Pa左右，通过接地装置在真空腔内的电极之间施加高频电压。气体通过辉光放电分解和离子化，产生等离子体。在真空室内产生的等离子体完全覆盖待清洁物体后，开始清洁操作并继续清洁过程。几十秒到几分钟。下面详细介绍使用等离子清洗
