1、基材& MDash;& MDash;低温等离子体发生器等离子体处理，碳酸钙表面活化方法去除基片表面杂质，提高表面活性基片通常是在晶体管的底部，前端有支撑作用。OFET衬底材料:玻璃、硅、石英、聚碳酸酯(PC)、聚乙烯萘(PEN)、聚酰亚胺(PI)、聚乙烯(PET)等。无机衬底具有熔点高、表面光滑
