2)系统控制单元:分为三种类型，LCD清洁机器按键控制(半自动、全自动)、计算机控制、PLC控制(LCD触摸屏控制)。二、真空室:真空室主要分为两种材质:1)不锈钢真空室，2)石英室。3、真空泵,真空泵分为两种:1)干泵,2)油泵等离子体是一种物质的存在状态,通常在固体,液体,气体三种状态存在,但在
