由于高分子材料的疏水性，外延片等离子表面处理机器血液过滤器的内壁和滤芯需要等离子刻蚀机的抗凝处理，以提高其过滤能力、亲水性和使用寿命。。等离子刻蚀机中超光滑基片等离子表面处理的研究；等离子体处理可以去除改性层，降低表面粗糙度，提高基体的表面清洁度和表面能。优化后的参数表明，等离子体刻蚀处理的衬底比未
