外部电子能量为了解离一个中性气体原子，特氟龙等离子体表面处理机它必须大于这个结合能，但是由于外界的电子往往缺乏能量，不具备解离一个中性气体原子的能力，所以需要使用以下方法的。提供原子电子能量的外部能量，使电子可用于解离该中性气体中的原子。向电子添加能量的最简单方法是使用平行电极板施加直流电压。电极中
