等离子体发生器氧气等离子体对 AlGaN / GaN HEMT 表面处理的影响：宽带隙光电器件氮化物（GaN）由于其优异的物理化学和电学性能，厦门等离子清洗设备螺杆真空泵哪里买已成为一种被广泛研究的光电器件。公司继硅（Si）、第二代光电器件（GaAs）、磷化铝（GaAs）、磷化铜（InP）等产品之后
