当向气体施加足够的能量以使其电离时，供应低温等离子清洗机它就会变成等离子体状态。等离子体的“活性”成分包括离子、电子、原子、反应基团、激发核素（亚稳态）、光子等。等离子清洗剂利用这些活性成分的特性对样品表面进行处理，达到清洗、镀膜等目的。。等离子清洗机中各气体的作用：等离子清洗机中常用的气体包括压缩
