等离子体中存在以下物质，等离子体放电与材料工艺原理(第二版)电子档电子高速移动。中性原子、分子和自由基处于活化状态。电离的原子和分子、分子在分解反应中产生的紫外线、未反应的分子、原子等，但物质仍然是完全中性的。 2、等离子体如何产生电弧放电、辉光放电、激光、火焰或冲击波等形式，可以将低压气态物质转化
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