等离子体主要是用微电子轰击中性气体原子,等离子处理设备价格分离中性气体原子形成等离子体,然而中性气体的原子核对周围的微电子有一种结合能,我们称之为结合能,要分离这个中性气体原子,外部电子的能量必须大于结合束的能量。而其他微电子往往能量不足,没有分离中性气体原子的能力。所以我们必须用外能分离原子能的方
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