什么是朗缪尔探测法?Langmuir探针法本质上是使用一个静电探针,什么物质可以用于玻璃的刻蚀将一个金属探针插入等离子体中,并施加一个正或负的偏置电压来收集电子或离子电流。与其他电极一样,探针周围会形成一个护套,而且这个护套的面积通常非常小,因此,在适当的条件下,它们只会对等离子清扫器的等离子体产生