等离子体和工件表面的具体影响如下：等离子体与工件表面的化学反应与常规化学反应有很大不同。由于高速电子的轰击，alodine表面处理许多常温下稳定的气体或蒸气可以以等离子体的形式与工件表面发生反应，产生许多奇特而有用的效应；清洗蚀刻：例如清洗时，工作气体往往是氧气，氧气被加速电子轰击成氧离子和自由基后
