用氧气清洗将非挥发性有机化合物转化为挥发性形式，二氧化钛表面羟基改性产生二氧化碳、一氧化碳和水。化学清洗的优点是清洗速度快，选择性高，对有机污染物的清洗更有效。主要缺点是产生的氧化物可以在材料表面重整。氧化物在电线粘结过程中是最不可取的，可以通过正确选择过程参数来避免这些缺点。。等离子体和电晕的处理
