而真空等离子清洗机是先将反应腔体抽成真空状态，真空镀膜镀铝附着力差然后通入反应气体，维持腔体内一定的真空度，再将电极端通电，形成高频高压电场，电离形成等离子体，通常呈现如下外观。。物理反应机制是活性粒子轰击待清洗表面，真空镀膜镀铝附着力差使污染物脱离表面最终被真空泵吸走；化学反应机制是各种活性的粒子
