半导体制造需要一些有机和无机材料的参与,油漆附着力不合格后期风险另外,由于过程总是在净化室中由人参与进行,所以半导体晶圆不可避免地会受到各种杂质的污染。按照污染物的来源和性质,可以大致分为颗粒物、有机物、金属离子和氧化物。 a:颗粒主要是一些聚合物、光刻胶和杂质。这些污染物主要通过范德华引力吸附在晶