3.真空等离子清洗机频率选择典型频率为 40KHz、13.56MHz、20Mhz。 40kHz的自偏置电压约为0V，2504附着力促进剂13.56MHz的自偏置电压约为250V，20MHz的自偏置电压较低，这三种激励频率的机理不同。发生在 40kHz 的反应是物理反应，发生在 13.56MHz 的反
