硫等离子体对GaAs样品的钝化不会造成明显的杂质污染，电子电路plasma表面清洗机器特别是钝化效果相对稳定，更适合GaAs光电子器件的钝化工艺。利用射频等离子体清洗机对GaAs衬底表面进行了干硫法钝化。射频等离子体钝化效果受衬底温度、溅射功率和降解温度的影响。通过优化硫等离子体钝化条件，样品的PL
