因此，湿法刻蚀产生的工艺异常该设备的设备成本不高，清洗过程不需要使用更昂贵的有机溶剂，这使得整体成本低于传统的湿法清洗工艺;等离子机使用户远离对人体有害的溶剂，也避免了在湿法清洗中容易清洗物体的问题。避免使用氯乙烷等ODS有害溶剂，这样清洗后不会产生有害污染物，所以这种清洗方法属于环保的绿色清洗方法
