广东芳如达科技有限公司 2022-12-27 10:39:21 155 阅读
而真空等离子清洗机是先将反应腔体抽成真空状态,真空镀膜镀铝附着力差然后通入反应气体,维持腔体内一定的真空度,再将电极端通电,形成高频高压电场,电离形成等离子体,通常呈现如下外观。。
物理反应机制是活性粒子轰击待清洗表面,真空镀膜镀铝附着力差使污染物脱离表面最终被真空泵吸走;化学反应机制是各种活性的粒子和污染物反应生成易挥发性的物质,再由真空泵吸走挥发性的物质。
简单地如开头说,真空镀膜附着力与基材等离子清洗需要在真空状态下进行,准确的说是低压状态下,如果完全真空的话也就意味着没有等离子体,等离子清洗也就不存在了(一般需保持在 Pa左右),所以需要真空泵进行抽真空作业。
等离子体清洗所需等离子体主要由特定气体分子在真空、放电等特殊场合产生,真空镀膜附着力与基材如低压气体辉光等离子体。简单来说,等离子清洗需要在真空状态下进行(一般需要保持在Pa左右),因此需要真空泵进行真空泵抽真空。
真空镀膜附着力与基材
物质通常以三种状态存在:固体、液体和气体,但在特殊情况下它们是存在的。还有第四种状态,例如地球大气中电离层的物质。以下物质以等离子体状态存在:快速运动的电子、活化的中性原子、分子、原子团(自由基)、电离的原子和分子、未反应的分子、原子等,该物质整体保持电中性。在真空室中,高频电源在恒压下产生高能混沌等离子体,与清洗后的产品表面碰撞。达到清洁的目的。
电子和原子在电浆清洗机等离子状态下脱离原子约束,中性原子、分子结构和离子无序运动,能量高,但整体中性化。高真空泵屋内的混合气体分子结构被电磁能加剧,加速的电子相互碰撞,使原子和分子结构的外层电子被加剧脱离轨道,产生离子或高反应性氧自由基。
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(3)真空室中的电极与接地装置之间施加高频电压,使气体被击穿电离,通过辉光放电产生等离子体。真空室中产生的等离子体完全包裹在被加工工件中,清洗操作开始。一般清洗过程从几十秒到几分钟。(4)清洗完毕后,切断高频电压,将气体和蒸发的污物排出,同时排出到真空室空气中,使压力上升到一个大气压。
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固体(solid) 液体(liquid) 气体(gas) 等离子{plasma} 2.等离子工艺应用: 1) 表面清洁2) 表面活化3) 蚀刻4) 等离子接枝和聚合五。
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