大多数湿法蚀刻系统是各向同性蚀刻,玻璃附着力不好怎么办不易控制。特点:适应性强,表面均匀,对硅片损伤小,几乎适用于所有金属、玻璃、塑料等材料。缺点:绘图的保真度不理想,难以把握绘图的最小线。与等离子蚀刻相比,湿法蚀刻是一种将蚀刻材料浸入蚀刻溶液中进行蚀刻的技术。简而言之,就是初中化学课上化学溶液蚀刻