等离子体清洗是干洗的一种，太阳能电池片刻蚀工艺依靠“活化”等离子体中的活性离子来达到去除污渍的目的。本方法能有效去除电极柱端面的污垢和灰尘，为蓄电池焊接做好准备，从而减少焊接不良。。等离子体表面处理机利用等离子体的物理化学性质，在材料表面形成致密的材料层或含氧基团，改变材料的表面性质，提高表面亲水性
