臭氧分解：在污水处理过程中，二氧化硅等离子体蚀刻机臭氧作为强氧化剂，结合有害物质形成一些中间产物，降低原污水的毒性和有害物质含量。该物质分解成二氧化碳和水。对于无机物质，可以形成某些氧化物进行去除。紫外线分解：利用低温等离子技术，紫外线可以单独或与臭氧结合分解有害物质。分离和分解主要是有害分子物质吸
