当压力小于a pa时，漆膜附着力小气体被电场部分电离，这种等离子体有一些显著的特征:1)气体产生辉光现象，通常称为“辉光放电”。因为它是真空紫外光，它对蚀刻速度有非常积极的影响。2)气体含有中性粒子、离子和电子。由于中性粒子和离子的温度在102 ~ 103K之间，对应的电子能量温度可达105K，故被
