此时阀门线圈断电，附着力小实验作文400字通过机械力关闭阀门，可防止真空泵内的油气因真空室内负压而被吸回。电磁真空充电阀具有安装简单的优点，但稳定性较差。如果长期使用，阀门的磁力会下降，回位弹簧容易出现响应迟缓的情况。目前，这种控制阀多用于低压真空等离子体设备进行实验。以上是低压真空等离子体机真气路
