1、电极对真空等离子清洗设备清洗效果的影响： 电极的设计直接影响真空等离子清洗设备的清洗效果，真空镀膜附着力主要包括电极的材质、布局及尺寸。对内电极等离子体清洗系统来说，由于电极与等离子体接触，某些材料的电极会被某些等离子体腐蚀或溅射，造成不必要的污染，使电极尺寸发生变化，影响等离子体清洗系统的稳定
